Template luam ntawv hauv daim ntawv ntawm
Stencil luam tau ob daim ntawv, ib qho yog qhov screen printing stencil, ib qho yog hollow stencil luam ntawv.
Kuav lub npog ntsej muag yog tsim los ntawm lub npog ntsej muag lub ntsej muag, pleev xim los ntawm kev luam ntawv mus rau lub substrate; hollow template yog tsim nyob rau hauv lub stencil ntawm lub hollow qauv, xim los ntawm hollow graphics luam tawm mus rau lub substrate. Obviously, qhov screen stencil vim mesh kev them nyiaj yug, yuav tsis muaj kev twb kev txuas rau saum tus qauv, thiab hollow stencil yuav tsum xav txog teeb meem tsis sib xyaw qhov teeb meem.
Vijtsam stencil luam ntawv yog ib txwm T luam ntawv luam tshuab rau kev luam tawm hauv micro-nano ua. Nws tsis muaj dab tsi ntau tshaj li ua tus qauv ntawm lub stencil me thiab lub mesh ntawm qhov screen thinner. Txawm li cas los xij, vim lub mesh txwv ntawm qhov screen xwb, qhov screen print pattern feem ntau yog kaum tawm ntawm micrometers los yog ntau tshaj li ntau pua micrometers. Cov qauv ntawm qhov screen yuav tsim los ntawm txoj kev kho qhov muag tau pom ntawm photoresist. Tom qab photoresist tau tsim, qhov tshuaj ntsuam tau tsim. Vijtsam luam tawm tau qhov tshwjxeeb ntawm kev tsim cov yeeb-thaij-tshuab piezoelectric. Vim hais tias cov khoom piezoelectric yog leadzirconate titanate (PZT), cov khoom siv PZT tuaj yeem muab tsis tau los ntawm cov kev siv lub cev los yog tshuaj, los sis tsis pub nws ua tiav ib qho qauv los ntawm txoj kev ua rau cov kev coj noj coj ua. Siv luam yeeb hom, PZT tuaj yeem ua rau lub slurry thiab tom qab ntawd pleev xim rau ntawm lub npog qhov ncauj. Nyob rau hauv no txoj kev, ib zaj duab xis thicker PZT tuaj yeem tau. Thiab tuaj yeem tsim qhov qauv PZT qauv. Cov txheej txheem no tau siv ntau yam siv ua PZT uas tau tsav cov micro-actuators los yog microfluidic twj thiab lwm yam khoom siv roj hmab. Cov qauv ntawm cov khoom me me zoo li tseem loj, kev luam ntawv daws teeb meem yuav ua tau raws nraim.
Hollow stencil luam tawm kuj yog ib txwm siv tshuab luam ntawv. Hollow stencil luam ntawv thiab stencil luam tawm sib txawv ntawm cov ntawv luam tawm ncaj qha los ntawm qhov chaw khoob hauv qhov chaw tso rau lub substrate. Nws tuaj yeem siv los ntawm kev luam ntawv, los yog los ntawm thermal evaporation mus rau ntawm lub substrate los ntawm hollow cheeb tsam. Piv txwv, cov khoom siv hlau yog ua kom qhuav thiab tso rau saum npoo ntawm lub substrate los tsim ib lub qauv hlau.